租用土地建厂需要遵循以下步骤和注意事项，以确保合法性：
租用土地前，必须明确土地的性质（如工业用地、商业用地等）和用途，确保该土地可以用于建设厂房。
如果土地性质不是工业用地或建筑用地，需要经过相关部门的许可，否则属于违规操作。
查阅《中华人民共和国土地管理法》、《中华人民共和国城市房地产管理法》、《中华人民共和国经济合同法》等相关法律法规，确保租赁行为合法。
特别注意土地租赁的最长期限、用途限制、登记备案等条款。
签订正式的土地租赁合同，明确双方的权利和义务，包括土地用途、使用时间、租金、违约责任等。
合同内容应详细列明，确保合同符合法律法规要求，避免后续纠纷。
根据《土地管理法》和《城市房地产管理法》，土地租赁合同需要到当地主管部门办理登记备案手续，以确保合同的法律效力。
租用土地建厂需要办理相应的审批手续，包括农用地转用审批、建设用地审批等。
未经审批擅自改变土地用途是违法的，可能会被国土资源部门查处。
在签订土地租赁合同前，需要征求当地国土部门、规划部门的意见，确保项目符合土地利用总体规划和城乡规划。
确认出租者是否为土地的合法产权人，避免因产权问题导致租赁行为无效。
在建厂过程中，需要办理相关的建设许可、环保审批等手续，确保建设活动合法合规。
在建厂过程中和建成后，妥善保管土地使用权证、房屋产权证等相关证件，以备后续可能出现的法律纠纷。
通过以上步骤和注意事项，可以确保租用土地建厂的合法性，避免因违法行为带来的法律风险和损失。建议在实际操作过程中，咨询专业律师或相关部门，确保每一步操作都符合法律法规要求。